东海研究 深度：华海清科（688120）：先辈CMP设备

　　（2）公司推出多个CMP设备系列型号，全面笼盖6-12英寸晶圆尺寸，以满脚集成电、先辈封拆、第三代半导体等范畴的多元化需求。截至2026年4月，公司12英寸及8英寸CMP配备累计出机已跨越1000台，不只全面笼盖逻辑、3D NAND、DRAM等支流半导体产物线，还成功切入大硅片、第三代半导体、CIS、MEMS、MicroLED及先辈封拆等范畴的头部客户供应链，实现了对国内支流集成电制制产线的全面笼盖取批量使用。此中，面向12英寸晶圆的300系列产物可满脚集成电、先辈封拆、大硅片等制制需求。 Universal-S300机型采用叠层结构架构，正在无限空间内实现更高产能，实现晶圆概况的纳米级全局平展化，合用于先辈制程工艺。针对先辈逻辑制程推出的Universal-300FS，搭载多样化先辈清洗手艺、机能优胜的抛光单位及多种起点检测手艺，分析机能更为杰出，同样可实现纳米级全局平展化，并已获得批量订单。全新抛光系统架构Universal-H300可满脚先辈制程手艺需求，已实现规模化出货。此外，公司的200系列产物（如Universal-200、Universal-200Plus等）次要面向8英寸晶圆，已正在多家国内集成电制制企业中实现财产化使用，普遍用于晶圆制制、MEMS制制及科研范畴。面向先辈封拆、玻璃基板等范畴，公司推出头具名板级CMP产物Master-P510取Master-P510APEX，进一步满脚客户对超大尺寸工件的超平展化加工需求。

　　（1）化学机械抛光（CMP）手艺是集成电制制中实现晶圆概况平展化的环节工艺。其焦点道理正在于通过化学侵蚀取机械研磨的协同感化，是目前独一能兼顾概况全局和局部平展化的抛光手艺。具体而言，化学感化是指抛光液中的化学品取晶圆概况反映生成易去除物质，物理过程则是磨粒取硅片概况材料的机械摩擦去除反映产品。CMP手艺通过纳米磨料的机械研磨取化学试剂的侵蚀感化高度连系，使晶圆概况达到高度平展、低粗拙度和低缺陷的尺度，全局平整度落差可节制正在5nm以内。

　　投资：初次笼盖，赐与“增持”评级。公司深耕半导体设备范畴，受益于国产替代取扩产趋向，以CMP设备为焦点，平台化拓展减薄、划切、离子注入、清洗等设备产物矩阵，建立“配备+办事”协同成长款式，持续打开业绩成漫空间。我们估计公司2026-2028年停业收入别离为61。51、78。18、96。29亿元，同比增速别离为32。33%、27。10%、23。16%；归母净利润别离为14。15、18。45、23。78亿元，同比增速别离为30。57%、30。40%、28。86%，对该当前市值的PE别离为50、38、30倍，初次笼盖，赐与“增持”评级。

　　公司积极延长结构设备维保、耗材供应、晶圆再生等全链条办事类营业，构成“配备+办事”协同成长款式，建立可持续的盈利增加系统。CMP设备正在运转过程中会发生大量耗材取零部件耗损，抛光头、连结环、气膜、清、钻石碟等环节耗材需按期维保更新。跟着公司CMP设备发卖数量添加，存量产线持续运转，耗材及抛光头维保办事等营业量同步提拔。晶圆再生方面，公司依托自有的CMP手艺取自产环节设备，天津已实现满产，产能达20万片/月；昆山扩产有序推进，规划总产能40万片/月，首期20万片/月。办事类营业取设备发卖绑定，协同效应持续凸显，一方面，依托现有设备客户资本，降低市场开辟成本，实现客户价值深度挖掘；另一方面，办事类营业具备高毛利、高粘性特征，通过持久办事沉淀客户信赖，进一步反哺设备发卖，将来无望成为公司新的增加点。

　　本演讲中精确反映了签名阐发师的小我研究概念和结论，不受任何第三方的或影响，其薪酬的任何构成部门无论是正在过去、现正在及未来，均取其正在本演讲中所表述的具体或概念无任何间接或间接的关系。

　　（2）公司环节耗材发卖取维保营业规模逐步扩大，具备较强的可持续性。公司环节耗材取维保办事次要面向客户的CMP设备，供给设备环节易磨损零部件的维保取更新办事，以保障设备不变运转。环节耗材次要包罗抛光头、连结环、气膜等，维保办事次要包罗为客户供给抛光头维保等内容。考虑到国内相关产线连续投产并持续运转，以及CMP及减薄配备对耗材和维保办事的刚性需求，环节耗材、维保及手艺办事无望取设备发卖构成显著的协同效应，实现同步增加。

　　（2）CMP手艺是处理芯片多层互连中台阶笼盖问题的环节工艺，也是实现光刻平展化的根本。跟着集成电向多层金属互保持构成长，晶圆正在颠末刻蚀、离子注入等前道工序后，概况庞易呈现较高的台阶描摹和深沟槽布局，显著添加了介质层笼盖和金属填充的工艺难度；特别正在多层互连架构中，堆积的介质层或金属层往往会随下方不服整的描摹发生共形崎岖，进一步影响器件的靠得住性取电学机能。CMP通过研磨液实现化学侵蚀，同时借帮研磨颗粒进行机械去除，协同感化选择性地去除晶圆概况的凸起部门，逐渐实现全局平展化，从而无效消弭前序工艺遗留的沟槽取台阶描摹。正在光刻环节，面若存正在崎岖将间接限制光刻分辩率的阐扬，而光刻工艺本身对焦深要求极浅，概况不服整极易导致图形恍惚以至失效；CMP工艺可以或许将晶圆概况平展度节制正在纳米级，为更细线宽的光刻工艺供给靠得住的工艺窗口，是鞭策集成电制程节点持续升级的焦点支持手艺。

　　（1）清洗是贯穿半导体财产链的环节环节，跟着制程微缩取芯片3D化成长，清洗工序数量取手艺要求持续提拔，国内厂商已占领必然份额，国产化无望加快推进。清洗是贯穿半导体财产链的主要工艺环节，用于去除硅片制制、晶圆制制及封拆测试各环节的杂质，避免影响芯片良率取机能。跟着工艺向先辈制程演进，对晶圆概况污染物的节制要求不竭提高，每一步光刻、刻蚀、堆积等反复性工序前后凡是都需要配备一步清洗工序。半导体清洗即针对分歧工艺需求，对晶圆概况进行无毁伤清洗，去除颗粒、天然氧化层、金属污染、无机物、层、抛光残留物等杂质。按照清洗介质分歧，清洗手艺分为湿法和干法两类，连系超声波、加热等辅帮手段实现无毁伤清洗，占领支流地位；干法清洗次要依托等离子、超临界气相等手艺，采用气态氢氟酸刻蚀二氧化硅层，虽具有高选择比劣势，但可清洗污染类单一，目前正在28nm及以下逻辑取存储产物中有必然使用。湿法清洗线下，支流设备包罗单片清洗、槽式清洗、组合式清洗及批式扭转喷淋清洗等，此中单片清洗设备市场份额最高。跟着芯片工艺前进取3D化成长，清洗工序数量大幅添加，同时对设备正在无毁伤前提下断根内部污染物的能力提出更高要求，鞭策清洗设备需求取价值量持续提拔。按照QYResearch，全球清洗设备市场规模估计从2026年的330。28亿元增至2032年的471。10亿元，CAGR为6。1%。市场高度集中，单片清洗设备范畴DNS、TEL、LAM及SEMES合计份额近90%，DNS以超41%居首。国内供应商次要包罗盛美上海、北方华创、华海清科等，正以差同化手艺径取工艺冲破，正在海外厂商从导的款式中扯开缺口，逐渐建立起自从可控的财产支持力。

　　公司营业聚焦于CMP、减薄、离子注入、划切、湿法等半导体设备，其营业属性取集成电前道工艺焦点设备企业高度附近。为此，我们拔取北方华创、中微公司、拓荆科技及盛美上海做为可比公司。按照预测数据，可比公司2026-2028年的平均PE别离为62。24、46。33、36。86倍，公司对应期间的PE别离为50。14、38。45、29。84倍。将来三年，公司估值低于可比公司均值，具备相对投资价值。

　　（1）减薄设备是先辈封拆取化合物半导体财产化落地的焦点配备。减薄是指对封拆前的硅晶片或化合物半导体等多种材料进行高精度磨削，使其厚度削减至合适的超薄形态。跟着先辈封拆及SiC、GaN等化合物半导体市场前景日益开阔爽朗，减薄配备取划切配备的需求估计将逐渐提拔。跟着摩尔定律趋近极限，2。5D/3D IC、Chiplet等先辈封拆手艺成为提拔芯片机能的环节，而硅中介层、HBM集成、TSV垂曲堆叠等工艺的实现，均对晶圆减薄取划切设备提出了更高要求，减薄设备保障多层堆叠的厚度节制取散热效率，划切设备则决定了芯片分手的精度取良率。取此同时，SiC、GaN等化合物半导体正在高频、大功率场景中普遍使用，其硬脆材料特征更离不开超细密减薄取划切配备的支持。因而，减薄取划切设备已成为先辈封拆取化合物半导体财产化落地的焦点配备，市场需求将随手艺演进持续拉升。按照QYResearch，2025年全球减薄机市场发卖额达到了76。56亿元，估计2032年将达到122。9亿元，2026-2032年CAGR为7。1%。从全球合作款式看，国外厂商正在晶圆超细密减薄取划切加工范畴起步较早，以日本DISCO公司为代表的海外供应商控制先辈手艺，根基垄断全球市场。

　　（2）半导体办事：公司晶圆再生营业持续扩张，成功获得多家头部晶圆厂大出产线批量持久订单，并实现不变供货，客户粘性持续加强，公司天津产能20万片/月，昆山规划总产能40万片/月，全数达产后公司晶圆再生总产能将达到60万片/月。同时，跟着CMP、减薄等配备保有量扩大，环节耗材取维保办事营业也将逐渐放量。我们预测2026-2028年其他产物和办事收入增速别离为44。78%、34。24%、30。64%；毛利率别离为48。61%、48。88%、49。20%。

　　东海证券股份无限公司是经中国证监会核准的证券运营机构，曾经具备证券投资征询营业资历。我们欢送社会监视并提示泛博投资者，参取证券相关勾当该当审慎选择具有相当天分的证券运营机构，留意防备不法证券勾当。

　　华海清科的焦点营业为半导体公用设备的研发、出产取发卖，产物涵盖CMP、减薄、离子注入、划切、边抛、湿法等系列配备，次要使用于集成电制制及先辈封拆等范畴。同时，公司还供给环节耗材取维保办事、晶圆再生办事，构成了“配备+办事”的平台化成长款式。参考2025年年报，半导体配备占比约87。22%，半导体办事占比约12。78%，据此进行营业拆分预测如下。

　　公司是国内少少数实现12英寸CMP设备规模化量产的企业，打破海外巨头持久垄断，稳居国内CMP设备市场龙头地位。公司正在CMP配备范畴合作劣势持续巩固，离子注入、磨划配备验证进展成功，平台化计谋稳步推进，叠加半导体市场需求兴旺，市场开辟成效显著，无力驱动营收规模快速扩张，2025年收入增加36。46%。据SEMI数据推算，2024年全球CMP市场规模约30。2亿美元，估计2027年将冲破40亿美元，2022-2027年CAGR约7。71%。2025年公司半导体配备收入40。54亿元，同比增加33。46%，此中CMP设备系列全面笼盖6-12英寸晶圆尺寸，可满脚集成电、先辈封拆、第三代半导体等多元化使用需求，凭仗丰硕的产物系列，公司已深度导入中芯国际、长江存储、华虹半导体等国内头部晶圆厂。跟着国内扩产提速，公司占领国产CMP配备发卖90%以上份额，同时先辈制程CMP配备验证进展成功，订单占比显著提拔，成为半导体系体例制焦点环节国产替代的环节力量。

　　（1）半导体配备：国内AI手艺、芯片设想取制制工艺的持续冲破，带动先辈封拆取芯片堆叠手艺送来新一轮成长空间。公司CMP、减薄等配备做为相关工艺的环节设备，使用需求无望进一步拓展。取此同时，全球存储行业进入新一轮上行周期，2026年中国存储扩产预期加强，无望为公司营业增加供给支持。公司CMP配备做为焦点收入来历，正在国内市场占领领先地位。受益于存储扩产需求及先辈制程渗入率提拔，部门先辈制程CMP配备已正在多家头部客户实现全数工艺验证，新签定单中先辈制程订单占比力大。此外，公司积极结构减薄、离子注入、划切、边抛、湿法等产物线，部门设备已进入客户端验证或获得反复订单，该类营业目前规模相对较小，但无望正在先辈封拆需求拉动下逐渐放量。我们预测2026-2028年半导体配备营业收入增速别离为30。51%、25。94%、21。87%；毛利率方面，考虑到公司持续推进手艺升级，先辈制程占比提拔无望支持毛利率程度，但行业合作加剧及新产物确认对短期毛利率有必然影响，预测2026-2028年毛利率别离为40。95%、40。99%、41。33%。

　　（2）基于公司正在CMP配备范畴的手艺积淀，公司成功将清洗相关的焦点手艺延长至清洗配备范畴，笼盖集成电制制多个使用场景。公司CMP产物中配备的清洗单位可以或许正在抛光完成后高效去除晶圆概况污染物残留，为清洗配备的自从研发奠基了的手艺根本。集成电客户需求，公司积极拓展清洗配备产物线英寸先辈制程、大硅片终端清洗、化合物半导体等多使用场景的系列清洗设备，正在颗粒节制、化学液处置、刷洗能力等环节目标上构成劣势。同时，公司自从研发的SDS/CDS供液系统设备，具备及时高精度正在线配比取参数闭环节制能力，可满脚研磨液、清洗液等湿法工艺化学品的精准供应需求，已获得批量采购，满脚存储、逻辑等多个制制场景。

　　跟着国内集成电行业手艺迭代持续驱动设备投资需求，叠加半导体设备国产替代历程加快，公司平台化拓展减薄、离子注入、划切、边抛、湿法等产物矩阵，为业绩增加持续注入动能。减薄配备范畴，公司依托CMP手艺积淀，推出12英寸超细密晶圆减薄机、减薄贴膜一体机等系列产物，正在厚度节制、极限减薄等环节目标上达国际先辈程度，普遍使用于先辈封拆、存储、CIS等范畴，订单取交付量持续增加。离子注入设备方面，2024年全球市场规模达276亿元，海外厂商使用材料、亚舍立合计市占率超八成，持久垄断市场。公司通过收购芯嵛公司切入离子注入范畴，实现12英寸大束流系列型号全笼盖，中束流系列取得阶段性进展，同时积极结构高能系列，供给全面笼盖逻辑、存储、功率半导体等范畴的处理方案，满脚分歧工艺节点取器件类型的多元需求。湿法设备方面，按照QYResearch，全球清洗设备市场规模估计从2026年的330。28亿元增至2032年的471。10亿元，CAGR为6。1%，市场高度集中，正在单片清洗设备范畴DNS、TEL、LAM及SEMES合计份额近90%。公司基于CMP清洗单位的手艺延长，推出笼盖大硅片、化合物半导体等多场景的清洗设备，自从研发的供液系统亦实现批量使用。

　　（1）华海清科是国内CMP设备龙头企业，通过“配备+办事”的计谋结构，帮力国内集成电制制的自从可控。公司成立于2013年，由大学取天津市合伙设立。公司持续专注于化学机械抛光（CMP）手艺的研发取使用，2014年成功研制出国内首台12英寸CMP设备，2015年Universal-300 CMP设备进入中芯国际出产线年，公司研磨抛光配备财产启动利用，首台12英寸超细密晶圆减薄机进入客户端验证。2022年，公司CMP设备成功进入封拆范畴国际头部客户，同年成功登岸科创板，进一步夯实本钱取手艺实力。近年来，公司加快结构拓展，以CMP设备为焦点，减薄、离子注入、划切、边抛、湿法等设备多品类协同成长，同时积极结构维保、耗材办事取晶圆再生营业，建立“配备+办事”的平台化计谋款式。

　　（3）公司实控报酬四川省国资委。截至2026年一季报，公司前三大股东为清控创业投资无限公司、新春、地方结算无限公司，别离持股28。12%、5。00%、4。81%。清控创投是华海清科第一大股东，实控报酬四川省国资委。公司首席科学家及焦点手艺人员新春先生具有20余年CMP手艺的研究经验，是国内CMP手艺成长和财产化的主要鞭策者。公司下设多家控股子公司，别离担任多地的半导体设备研发、出产、发卖、手艺办事等营业；2025年公司完成对芯嵛公司100%的控股权收购，次要处置集成电离子注入机的研发、出产和发卖。

　　（1）全球半导体设备市场稳步扩张，中国持续多年连结全球最大设备市场地位。跟着AI驱动芯片立异需求持续，全球晶圆产能扩建取手艺升级历程加速，按照SEMI，全球300mm（12英寸）晶圆厂设备收入将持续增加，2026年和2027年增速达到18%、14%。2025年全球半导体设备发卖额估计达1330亿美元，同比增加13。7%，2022-2027年CAGR约为7。7%。从设备类型看，晶圆厂设备（WFE）占领从导，占比约89%，估计2025年发卖额达1157亿美元，同比增加11。0%；半导体测试设备增加最为显著，估计2025年发卖额达112亿美元，同比增加48。1%；封拆设备估计同比增加19。6%，市场规模达64亿美元。从区域布局看，中国半导体设备市场规模占全球比沉持续攀升，2022-2024年由26%快速提拔至42%，估计将来几年将维持正在40%摆布。基于此趋向测算，2027年中国半导体设备发卖额无望达624亿美元，2022-2027年CAGR为17。1%，显著高于全球平均增速。这一强劲增加反映了数据核心和边缘设备对AI芯片需求的激增，以及各次要地域通过当地化财产生态系统和供应链沉组来加强半导体自给自脚能力的果断许诺。

　　（3）正在集成电制制流程中需要轮回多次利用CMP工艺，涉及硅片制制、集成电制制和封拆测试范畴。（i）硅片制制范畴，半导体抛光片出产工艺流程中，正在完成拉晶、硅锭加工、切片成型环节后，正在抛节，为最终获得平整干净的抛光片需要通过CMP设备及工艺来实现。（ii）集成电制制范畴，通过离子注入、薄膜堆积、光刻、刻蚀、抛光等工艺环节，为每层制制概况纳米级全局平展化，往往需要轮回反复多次利用CMP工艺，也是CMP设备使用最次要的场景。（iii）先辈封拆范畴，CMP工艺会越来越多被引入并大量利用，此中硅通孔（TSV）手艺、扇出（Fan-Out）手艺、2。5D转接板（interposer）、3DIC等将用到大量CMP工艺，无望成为CMP设备新的增加空间。

　　（1）正在集成电制制所涉及的各类型半导体设备中，CMP、减薄等配备是耗材用量大、焦点部件需按期维保更新的设备类型。办事营业已成为海外半导体设备龙头的主要收入来历，国际CMP设备巨头如美国使用材料公司取日本荏原，均同时向客户供给环节耗材发卖取维保办事，此中使用材料2025年全球办事营业收入占比约为23%。CMP、减薄配备做为活动损耗取材料耗损较为显著的半导体工艺设备，运转过程中会发生大量耗材取零部件耗损，需正在设备运转必然周期后进行持续维保或响应模块的替代，以确保设备机能。CMP设备正在一般运转过程中，除需利用抛光液、抛光垫等通用耗材外，其本身的抛光头、连结环、气膜、清、钻石碟等环节耗材亦会快速损耗，需按期进行维保更新。

　　（2）公司依托正在CMP配备范畴的深挚手艺堆集，持续拓展减薄配备营业，产物普遍使用于先辈封拆及前道晶圆制制后背减薄工艺。此中，全球初创的超细密减薄抛光一体机 Versatile–GP300 集成磨削减薄、CMP取清洗模块，满脚3D IC及先辈封拆需求，累计出机量冲破20台，实现规模化使用；减薄贴膜一体机 Versatile–GM300 兼容8/12英寸晶圆，完满适配W2W取D2W工艺，已批量发货至少家半导体龙头并完成首台验收；面向先辈存储的 Versatile–GH300 实现亚微米级加工精度，TTV取WPH行业领先，标记公司减薄配备的产物矩阵正在化合物半导体范畴进一步延长。目前，公司减薄配备已笼盖国内大都头部晶圆制制取封测企业，正在3D IC、HBM等高端范畴构成先发劣势，机能达国际先辈程度。将来将持续迭代，开辟更高WPH、更低TTV的新机型，提拔市场所作力。

　　（1）CMP设备快速放量，驱动公司营收规模持续扩张。2020-2025年，公司停业收入复合增加率达64。50%，2025年公司停业收入为46。48亿元，同比增加36。46%，增加势头持续加强，此中半导体配备收入40。54亿元，同比增加33。46%，占公司总营收约87%。分营业看，CMP设备为公司焦点收入来历，持久占总营收比沉超80%；2024年，CMP/划切配备收入达29。87亿元，占停业收入87。7%；配套材料及手艺办事营业加快放量，实现收入4。19亿元，同比增加81。92%。CMP配备的市场拥有率和发卖规模持续提高，减薄配备、离子注入配备、耗材零部件、抛光头维保办事等营业的市场潜力无望进一步，此外，公司积极推进晶圆再生扩产项目，将进一步扩大晶圆再生办事的市场份额，办事类营业无望成为公司新的利润增加点。

　　（4）公司正在手订单丰裕，先辈制程CMP订单占比提拔，晶圆再生营业获批量订单并扩产期近，持续成长动能。2025年半导体市场需求维持高景气，公司产物手艺程度和机能持续提拔，CMP配备焦点劣势巩固，离子注入配备及磨划配备验证成功、出货量快速添加。存货规模随之逐年攀升，2025年公司存货39。89亿元，同比增加22。08%，此中发出商品金额为19。58亿元，占总存货约五成，或反映正在手订单验证且交付节拍优良。从订单布局看，新签CMP配备订单中先辈制程订单实现较大占比，为公司后续收入增加奠基根本。其他产物办事方面，公司依托先辈CMP研磨工艺提拔再生晶圆轮回利用次数，已获得多家大出产线批量订单并持久不变供货。跟着晶圆再生扩产项目落地，该营业市场份额无望进一步扩大，成为公司“配备+办事”计谋的主要支持。

　　（1）产物研发及验证进度不及预期风险：公司有多种设备正处于客户验证阶段，且有新款设备正在研中，若进展不及预期，或将导致相关产物盈利贡献低于预期！

　　本演讲签名阐发师具有中国证券业协会授予的证券投资征询执业资历并注册为证券阐发师，具备专业胜任能力，以专业严谨的研究方式和阐发逻辑，采用合规的数据消息，审慎提出研究结论，、客不雅地出具本演讲。

　　（2）公司毛利率取净利率持续连结行业中上程度。2020-2025年归母净利润年复合增加率达61。78%，2026Q1公司实现归母净利润2。47亿元，同比增加5。95%，分析毛利率为42。31%，或系公司部门产物仍处于市场开辟阶段，毛利率较低，导致公司近年来全体毛利率略有下降；净利率下滑至20。58%，次要系期间费用阶段性抬升，公司持续加码高端设备以及人员投入。取同业可比公司比拟，公司毛利率及净利率均持久位居行业中上程度。将来，跟着CMP设备、离子注入机、减薄配备等高端产物加快放量，叠加降本增效行动持续推进，公司利润无望持续连结增加。

　　（1）晶圆再生市场高度集中于日本及中国，CMP设备是工艺流程的焦点。晶圆再生是指对晶圆制程中所需的挡片、控片（材质为晶圆）进行收受接管处置，通过去除概况杂质取缺陷，使其正在平整度和概况颗粒数量等方面达到新片尺度，从而实现轮回再操纵。晶圆再生的工艺流程次要包罗去膜、粗抛、精抛、清洗、检测等工序，此中精抛为最环节环节，次要通过CMP设备完成。因而，CMP工艺是晶圆再生工艺流程的焦点，CMP设备也是晶圆再出产线中资金投入最大的工艺制程设备。当前，全球再生晶圆市场及产能高度集中于日本和中国，日本RS Technologies公司为全球晶圆再生行业龙头企业，其2025年晶圆再生营业发卖额达275。29亿日元，公司估算其市场份额为31%，据此推算2025年全球晶圆再生市场规模约为888。03亿日元（~38。6亿元，按照汇率1日元=0。04346元人平易近币）。2020年之前，中国正在晶圆再生专业代工范畴尚属空白，晶圆厂多将测试晶圆送至中国或日本进行再生加工，仅少量自行处置。将来，跟着我国集成电财产国产化程度不竭提拔，以及国内厂商晶圆再生办事能力的逐渐加强，国内晶圆再生专业代工办事市场无望填补空白并实现迸发性增加，市场前景广漠。

　　本演讲仅供“东海证券股份无限公司”客户、员工及经本公司许可的机构取小我阅读和参考。正在任何环境下，本演讲中的消息和看法均不形成对任何机构和小我的投资，任何形式的证券投资收益或者分管证券投资丧失的书面或口头许诺均为无效，本公司亦不合错误任何人因利用本演讲中的任何内容所引致的任何丧失负任何义务。本公司客户若有任何疑问该当征询财政参谋并独自进行投资判断。

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　　（3）手艺储蓄持续夯实，将来降本增效无望驱动费率进一步优化。跟着收入规模快速扩张，公司规模效应逐渐，2020-2024年公司费用率全体呈下降趋向。2025年公司期间费用有所抬升，次要系营业规模扩大带来的材料费用增加，以及人员扩张对应的薪酬添加，此中，研发费用达5。37亿元，同比增加40。63%，持续加码焦点设备手艺攻关。2025年公司累计获得授权专利569件、软件著做权50件，手艺储蓄持续夯实。当前公司仍处于研发扩张阶段，将来跟着收入规模持续增加、新产物逐渐实现量产，以及降本增效办法持续推进，公司期间费用率无望进一步改善。

　　（1）离子注入设备是集成电制制的环节配备，持久由海外厂商高度垄断。离子注入设备次要用于工艺，其道理是将离子束射入半导体材料，通过物理和化学彼此感化使离子能量逐步丧失并逗留正在材猜中，从而改变材料概况的成分、布局取机能。跟着芯片设想日益复杂，对离子注入机的高能量、高精度、高平均度、低污染等要求不竭提拔，所需的离子注入工序也响应添加；同时，芯片制程升级催生了SOI、MEMS等特殊工艺的需求，鞭策新型离子注入设备的开辟。基于能量和剂量两个根基参数，使用于集成电制制的离子注入机次要分为三种机型，即大束子注入机、中束子注入机和高能离子注入机。按照SEMI数据，2024年全球离子注入设备市场规模达276亿元，估计2030年将增至307亿元。市场款式方面，按照Global Info Research，离子注入设备市场高度集中，2024年美国使用材料和亚舍立合计市占率跨越八成，别离为62。65%和21。19%。目前，国内以芯嵛公司、北方华创、凯世通为代表的国内厂商逐渐打破海外垄断，离子注入设备正在支流晶圆厂加快验证取量产，国产化历程正迈向规模化替代阶段。

　　（2）公司成功进军离子注入设备赛道，当前12英寸大束流系列已实现型号全笼盖，并加快向高能等系列延长，全面满脚先辈制程取多样化使用需求。2025年，公司完成对芯嵛公司残剩股权的收购，将其纳为全资子公司，进一步强化正在集成电离子注入机范畴的结构。芯嵛自从研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT已发往国内逻辑芯片制制范畴龙头企业；12英寸大束子注入机iPUMA-LE成功交付国内先辈存储范畴龙头企业。公司12英寸大束子注入配备已构成全系列型号结构，多台设备接踵通过国内支流集成电制制商验证并实现不变交付，加快进入规模化放量阶段，发卖业绩实现大幅增加。公司正在离子注入配备范畴持续深耕，除了已实现大束子注入机系列型号全笼盖，中束流系列取得阶段性进展，并积极结构高能系列，以全面满脚逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS及硅片制制等范畴对高质量、大规模制制的多样化需求。

　　本演讲基于本公司研究所及研究人员认为合规的公开材料或实地调研的材料，但对这些消息的实正在性、精确性和完整性不做任何。本演讲仅反映研究人员小我出具本演讲其时的阐发和判断，并不代表东海证券股份无限公司，或任何其从属或联营公司的立场，本公司可能颁发其他取本演讲所载材料不分歧及有分歧结论的演讲。本演讲可能因时间等要素的变化而变化从而导致取现实不完全分歧，敬请关心本公司就统一从题所出具的相关后续研究演讲及评论文章。正在法令答应的环境下，本公司的联系关系机构可能会持有演讲中涉及的公司所刊行的证券并进行买卖，并可能为这些公司正正在供给或争取供给多种金融办事。

　　（1）公司是国产12英寸和8英寸CMP配备的次要供应商，产物已根基笼盖国内12英寸先辈集成电大出产线，占领国产CMP设备发卖90%以上的市场份额。CMP设备的手艺合作力，焦点表现正在抛光、清洗、工艺智能节制等环节模块的手艺程度上。公司正在已实现量产的制程节点及相关工艺中，公司产物取行业龙头比拟已无较着手艺差距，正在客户端产线中已实现对龙头产物的无效替代，产物普遍使用于逻辑芯片、DRAM、3D NAND等范畴，2025年占领国产CMP配备发卖90%以上份额。同时，公司正在新签定的CMP配备订单中，先辈制程相关订单已占领较大比沉，先辈制程机型出货量增加显著，已正在国内多家头部客户完成全工艺验证，并正在HBM、三维堆叠等先辈封拆工艺产线上做为基准设备。

　　（2）CMP设备市场规模连结不变增加。按照SEMI，2022年全球CMP设备市场规模为27。78亿美元，占昔时全球半导体设备总发卖额的2。6%。按照图19假设测算，估计2025年CMP设备市场规模将达到34。3亿美元，并无望正在2027年冲破40亿美元。中国CMP设备市场趋向应取全球连结分歧，跟着中国半导体设备发卖额占全球比沉从26%提拔至40%摆布，估计2025年中国CMP设备市场规模将增至12。5亿美元；2027年，中国CMP设备市场规模无望达到14。7亿美元。跟着手艺节点持续缩小，CMP工艺正在集成电出产流程中的使用次数逐渐添加，例如，逻辑芯片从65nm制程的约12道CMP步调增至7nm制程的30多道。同时，制程演进以及使用扩展对CMP设备的平展化结果、节制精度、系统集成度及后清洗能力提出更高要求。将来CMP设备将向抛光头分区精细化、工艺节制智能化、清洗单位多能量组合化及防止性精益化标的目的成长。

　　（3）下逛需求不及预期的风险：受芯片需求放缓影响，若下逛晶圆代工财产扩产规模及进度不及预期，则对半导体设备的需求将会有所下降。

　　（2）公司持久深耕集成电制制上逛财产链环节范畴，笼盖配备制制取手艺办事两大焦点板块的营业系统。配备范畴，公司以CMP设备为焦点，笼盖6-12英寸使用制程，12英寸CMP配备正在国内客户端占领较高市场份额，先辈制程订单占比持续提拔。同时，公司持续拓展减薄、离子注入、划切、边抛以及湿法配备，构成多品类协同的产物矩阵。正在办事范畴，公司积极结构晶圆再生营业，并供给抛光头、连结环、气膜等焦点耗材及维保办事，构成从设备发卖到后市场办事的闭环贸易模式。

　　（2）地缘风险：目前中美关系正处于博弈阶段，半导体相关政策尚不开阔爽朗，若严重场面地步进一步升级，或导致国内半导体供应链风险加剧，进一步影响公司业绩。

　　（3）CMP设备行业呈现高度集中款式，先辈制程范畴是将来冲破标的目的。全球市场次要由美国使用材料和日本荏原从导，2022年两家正在28nm及以上制程的12英寸设备市场所计拥有率约88%，正在28nm以下先辈制程范畴则接近100%。持久以来，中国CMP设备高度依赖进口，2022年进口额约为5。95亿美元（以1美元=7人平易近币计较），按照上述市场规模测算，对应进口比例高达89%。但陪伴国产替代历程加快，2025年中国CMP设备进口额为7。93亿美元，进口比例已下降至63%，国产化率提拔至近四成，国产替代成效初显。国内次要厂商中，华海清科正在成熟制程及部门先辈制程的CMP产物机能已对标国际龙头，晶亦精微则深耕8英寸设备并持续推进12英寸设备的验证工做。总体来看，当前国产CMP设备已正在成熟制程产线实现财产化使用，取海外龙头的次要差距集中正在部门先辈制程范畴，这也将成为国内厂商将来沉点冲破的标的目的。

　　证券研究演讲：《华海清科（688120）：先辈CMP设备放量冲破，平台化计谋引领协同成长——公司深度演讲》。